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1、关于压电扫描器缺点叙述错误的是()。

A、电压相对位置、位移无滞后
B、晶体膨胀期间不可预测的力矢量
C、居里温度引起的温度限制,低温下压电效应的降低
D、柔性铰链的设计对环境噪声的放大

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2、采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质,即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。

A、对
B、错

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3、激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。

A、对
B、错

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4、空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

A、对
B、错

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5、飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面,并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。

A、对
B、错

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6、压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器,具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。

A、对
B、错

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7、激光三角法使用的探测器类型包括()

A、线阵相机
B、面阵相机
C、PSD
D、光电二极管
E、APD

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8、下面哪几项属于直射式激光三角法的特点?()

A、在被测物上的光斑位置不变
B、光斑尺寸较大
C、信号类型为散射光,强度较低
D、系统尺寸较小
E、测量范围小

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9、激光视力矫正手术涉及到哪几种激光器?

A、准分子激光器
B、皮秒激光器
C、飞秒激光器
D、阿秒激光器

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10、表面特征检测的扫描技术主要分为()

A、透射光检测法
B、反射光检测法
C、散射光检测法
D、扫描频谱分析法

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