1、利用高能粒子高速撞击靶材，使大量的靶材表面原子获得相当高的能量而脱离靶材的束缚飞向衬底，沉积成膜，这种制膜方法称为溅射镀膜。
A、对
B、错
2、溅射镀膜的工作区域（ ）
A、无光放电区
B、弧光放电区
C、异常辉光放电区
D、汤森放电区
3、以下哪种不属于物理成膜方法?
A、激光加热真空蒸发镀膜
B、直流溅射镀膜
C、离子成膜
D、液相外延技术
4、薄膜属于二维材料。
A、对
B、错
5、采用直流辉光放电时，一般选择在异常辉光放电区进行溅射镀膜。
A、对
B、错
