1、通常TEM观测的分辨率要高于SEM。
A、对
B、错
2、SEM观测的主要原理是搜集入射电子激发的二次电子进行逐点成像的。
A、对
B、错
3、表面不导电的样品无法用SEM进行观测。
A、对
B、错
4、TME可观测厚度1微米以上的样品。
A、对
B、错
5、AFM的探针针尖与样品表面直接接触，所以测量时会损伤样品。
A、对
B、错
6、AFM可观测样品内部形貌特征。
A、对
B、错
7、以下哪种检测方式的激发源不是X射线？
A、XRD
B、EDX
C、SIMS
D、XPS
8、EDX通常是加装在SEM中配合使用的。
A、对
B、错
9、以下常用来检测样品表面晶体结构的方法是（）？
A、XRD
B、EDX
C、SIMS
D、AES
10、业界常用SIMS作为半导体掺杂浓度分布的检测方式。
A、对
B、错
